SCICO PLASMA CLEANER 基本型氧電漿清洗機 / 等離子清洗機

型號：PS-3LP
品牌：SCICO

基本型氧電漿清洗機是一種緊湊、平價的桌上型等離子儀器，附帶觀察窗的鉸鏈門，具有主動風扇冷卻和針閥，適用於奈米級表面清潔和改質小樣品。

[特點]

1. 緊湊而完整的單元
2. 可調整的射頻功率（低、中、高）
3. 最大射頻功率可達18W，單機可擴充至 25 W
4. 包含玻璃腔（φ 3" x L 6.5"）
5. 附帶觀察窗的鉸鏈門
6. 主動式風扇冷卻
7. 獨立開關可以操控真空馬達
8. 額外提供一組外接式真空計電源
9. 樣品托盤方便裝載和卸載，適合批量處理的小樣品
10. 利用1/8" NPT針閥來調整氣體流量和腔體壓力
11. 配合1/8" NPT三通閥可迅速切換引入氣體、排氣和隔離腔
12. 包含抽氣管保護套，有效避免真空管拉扯玻璃腔造成損壞
13. 尺寸：H 213 x W 257 x D 217 mm

[設備需求]

1. 真空幫浦能力需求：最小抽氣量 23 L/min、最低真空需求：< 200 mTorr
2. 對於非反應性氣體（空氣、N2、Ar），只需使用一般油式真空幫浦
3. 需可與機器銜接的數位式真空指示計

[選購配備]

1. EVEFLOW 是一款混合器，適用於 2 種氣體定流量控制的混合
2. 石英腔體適用於特殊反應氣體和防污染高敏感樣品的應用